제품선정가이드
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저노점 클린 에어(클린룸용 에어)
용도 예
- 클린룸 내에서 반도체 부품의 블로
청정화 시스템
시리즈 이름을 클릭하면 세부 정보 페이지가 표시됩니다.
에어탱크는 당사에서 공급이 불가능합니다.
- AT, HAA / HAW : 공기 압축기에 부착되어 있는 경우는 필요없습니다.
- AT : 스크류 압축기의 경우 축압을 목적으로 하는 경우 필요합니다.
압축공기중의 불순물
| 수분 | 여과도 | 오일 미스트 농도주1) |
청결 | 오일냄새 | 시스템의 품질 등급주2) |
|
|---|---|---|---|---|---|---|
| 노점 | 함유 수분량 | |||||
| 대기압 노점 : ：-30～-60 ℃ 압력 노점 ：-6～-42℃ (0.7MPa 시) |
0.5g～0.02g/㎥(ANR) | 0.01μm ( 포집 효율 99.99% ) |
Max.0.004mg/㎥ (ANR) 0.0032ppm |
0.1μm 이상의 입자 가 0개/ 6L |
무 | 1,1,1 주 3) 1,2,1 1,3,1 |
- 주 1) 입구측의 오일 미스트 농도 (컴프레서 토출 농도)가 약 30mg/㎥ (ANR) 이하인 경우
- 주 2) ISO8573-1 : 2001 (JIS B8392-1 : 2003)에 의한 압축공기 품질 등급을 표시 (위 참조) 해당 시스템에서 얻을 수 있는 최고의 품질 등급을 표기하고 있습니다. 그러나 입구 공기 조건에 따라 다릅니다.
