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진공용기기

워크에서 선택 : 통기성이 있는 워크

주의사항 - 통기성이 있는 워크를 패드에 흡착하는 것은 어렵습니다.

유량에 의한 흡착이 필요하기 때문에 송풍기의 종류를 고려하시기 바랍니다.

비접촉 척 XT661 시리즈

비접촉 척 XT661 시리즈
구성		형상	시리즈	몸체 외경	접속구경	사용압력	상세
■ 비접촉 반송이 가능 ■ 유리 기판 등 흡착 흔적을 꺼리는 워크, 태양전지 셀 등 요철이 있는 워크, 구멍뚫린 워크 ■ 종이 등 통기성이 있는 워크, 필름 등의 얇은 워크의 반송에 대응 ■ 그리스 없음		사이클론 타입	XT661	ø20,ø25,ø40,ø60,ø80,ø100	M5×0.8, Rc1/8	0.01~0.5MPa	상세보기
		베르누이 타입	XT661	ø39,ø59,ø79,ø99,□120,□150	M5×0.8, Rc1/8	0.01~0.4MPa	상세보기